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研磨液输送设备
产品范围：
半导体设备制造设备,封装设备
应用领域：
半导体制造&封测,功率半导体,显示
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产品介绍:
功能：为CMP化学机械平坦化持续无间断提供制程所需要的化学研磨液的设备 1、全自动PLC操作系统 2、浓度/密度/温度/压力精准控制 3、多维度安全装置（压力监测、漏液侦测、急停按钮等） 4、报警可追溯，工艺设备联动通讯
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