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液态源输送设备
产品范围：
半导体设备制造设备
应用领域：
半导体制造&封测,功率半导体,显示
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产品介绍:
功能：专用于在半导体制造过程中所需各种液态特种气体供应至工艺生产机台的输送设备 1、全自动PLC操作系统 2、多维度安全防护（压力、UV/IR、烟雾、温度等） 3、阀门连锁，防止误操作 4、报警可追溯，工艺设备联动通讯 5、定制防爆、配置CO2或其他消防装置
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