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全自动气体供应设备
产品范围:
半导体设备制造设备
应用领域:
半导体制造&封测,功率半导体,显示
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产品介绍:
用于自燃性、易燃易爆、毒腐性等特种气体系统的封闭式气体放置与气体输送设备 例如:SiH4、BCL3、NH3等 1、可适配5-50L钢瓶、集装格、T/Y瓶、杜瓦罐、鱼雷车/ISO槽车等气源 2、全自动控制,稳定输送压力和流量 3、换瓶时自动吹扫保压,保障人员安全 4、根据气体性质设置钢瓶加热、盘面加热 5、支持本地查询和远程监控 可根据客户需求进行专属定制
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